XYスキャニングステージ
マップ作成
長方形、円形をベースにワークサイズ、移動ステップサイズを入力して、マップ作成を行います。
グループ分けをすることができ、グループ単位で管理することも可能です。
グループ管理
グループごとに形成された電子部品、半導体ウェハなどに対応させてマップ作成を行えます。
ステージ移動もグループ内をスキャンしてから、次のグループに移動できるようになり、検査も容易になります。
ワーク移動
移動したいポジションのセルを選択して、ダブルクリックをするとワークが移動します。観察したいポイントへ瞬時に移動することができ便利です。
ワークをセル単位で順次送っていくステップ送り機能があります。付属のジョイパッドのボタンで次々とワークを送ることができます。
フットスイッチなども接続可能ですので、最適な操作環境を構築できます。
デバイス、基板などの目視検査に最適な機能です。
カラーマーキング
セルに色付けすることができます。ワーク検査の不具合箇所に色付けしたり、気になるポイントを後で再観察できるように色付けすることができます。
テキスト入力
テキストウィンドウを使って各セルにテキストを保存することができます。
ワークの状況や検査結果などを入力できる便利な機能です。
手元にメモ用紙を用意する必要もなく、観察後はレポート機能で入力テキストを一覧でプリント出力することもできます。
保存画像アクセス
顕微鏡、マイクロスコープで取り込んだ観察画像の保存場所を各セルに記憶させることができます。
そのセルを対応する画像を表示ソフトで表示することもできます。
観察結果の分析、レポート作成などの作業を容易にします。
レポート出力
作業日、作業者名、ワーク番号など入力した情報と、カラーマーキングしたセル番号、テキストをExcelファイルで出力することができます。
Excelファイルなので編集、アレンジが容易です。
また、カラーマーキングの結果をCSVファイルで出力できます。
Excelで編集すれば不良箇所の分布などを解析できます。
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