外観検査サポートソフト

外観検査支援ソフト概要

半導体ウェハ検査

電子デバイス、半導体ウェハなどの目視検査で、いま何番目のポイントを 観察しているのか分からなくなってしまうことがあります。

お使いの顕微鏡のステージに位置検出センサを取り付りつけることで、ソフト上で現在観察しているポイントを管理することができます。

いま観察しているポイントを見失わない

マップソフトはいま観察しているポイントをリアルタイムに表示して、観察位置を見失うことがなくなります。抜き出し検査のような、予め決められた位置を検査することも容易になります。

マップソフト

検査結果をソフトで管理

不良箇所を見つけたら、ワンクリックで結果情報を記録できます。検査終了後に、テキストファイルで検査結果を出力できます。 検査結果の記入ミスも防止でき、表計算ソフトに入力する必要もなくなります。

マップソフト検査結果

使用中の顕微鏡をシステムアップ

顕微鏡ステージにセンサ取付

いまお使いの顕微鏡のXYテーブルに位置検出センサを取り付けるだけでシステムアップできます。

大規模な設備投資をすることなくシステム化を実現できます。

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