システム商品
光デバイスプローバー
測定・検査内容
発光素子、受光素子のどちらも測定可能
ウェハ状の面発光レーザー(VCSEL)、フォトダイオード(PD/APD)を
プロービングして測定できます。
VCSEL
- I-L-V測定
- V-I測定
- 波長測定
- 高周波特性
PD/APD
- V-I測定（暗電流、光電流）波長測定
- 高周波特性
PD入射光のピークサーチ機能
PD入射光の光軸を自動調芯します。
PD測定時に、PD電流値が最大になるように入射ビーム集光ユニットの
XYZ方向位置を自動に探し出し、位置決めをします。
PD受光面の感度プロファイル解析にもお役立ていただきます。
裏面コンタクトが可能
フリップチップタイプの測定が可能
ウェハチャックをARコートしたウィンドに変更して、デバイスを裏面に
固定し、裏側からコンタクトすれば測定することが可能です。
モーションソフトウェアも自動に裏面測定に対応するので、測定素子の
設定等の変更は必要ありません。
プローブコンタクト圧力コントロール
再現性の良いコンタクトを実現
高周波特性に大きな影響を及ぼすコンタクト圧力を高精度で制御します。
独自設計によりプローブコンタクト圧力をモニタリングして常に
設定したプローブ圧力の再現性を維持します。
XYステージには光学リニアエンコーダを搭載し、位置決め再現性±0.5μmの
高精度を実現しています。
高い操作性を実現するソフトウェア
スループットを左右する段取り・設定を簡単に
簡単な設定により、実際のウェハとソフト上のウェハマップを対応
つけることができ、測定したい素子に正確かつ瞬時に移動することが
できます。
測定結果はグラフ表示はもとより、測定データをExcelファイル形式で
出力することにより、お客様による解析を容易にします。
また、解析アプリケーションも用意することができます。
お客様のご要望、測定しよう、ご用意した測定器と組み合わせて、
システムとしてソフトウェアをカスタムデザインします。
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ファインシスはR＆D・製造現場の「改善」をサポートします。
