レーザー変位測定センサ
散乱光測定タイプ （ディフューズドタイプ プローブ）
１．急傾斜面でも測定可能
最大測定傾斜角85度のため、例えば歯形、タイヤ形状やボール グリッド アレイ（BGA）などの形状を測定することができます。
２．低反射率（黒色）表面の測定が可能
タイヤなどの黒ゴムや表面がざらざらした材料も測定できます。
３．スタンドオフ（作動距離）が長くとれる
レンズを交換することでスタンドオフの長さを変更することができます。また、レーザーの投光部〜受光部の経路が同軸上にあるためミラーなどの反射光学系を使った測定も可能です。
加工レーザーヘッドや検査光学系の焦点位置合わせなどにご活用いただけます。
三角測定タイプに対するアドバンテージ
レーザーの経路が同軸上にあるため、狭い空間の測定や急斜面の
測定が可能になります。
正反射測定タイプ （リフレクティブタイプ プローブ）
ガラス・ミラー・液体表面用のセンサーです。
高精度測定が可能で、レンズを変えることでスタンドオフ（作動距離）を長くとることができます。
次の様な測定が可能です。
- ガラス、透明材料、液面
- 鏡面体などの高反射率材料の測定
- 20μm以下の膜厚測定
- ガラス厚測定
- 高精度、横方向測定分解能最小1μm
シリコンウェハ測定
ガラス形状測定
色ガラス厚み測定
フィルム膜厚測定
ウェハ測定結果例
このページの先頭へ
ファインシスはR＆D・製造現場の「改善」をサポートします。
